میکروسکوپ های الکترونی از سال 1940 به صورت تجاری موجود بودند. اما از سال 1950 به صورت وسیعی در بررسی فلزات مورد استفاده قرار گرفتند. امروزه با پیشرفتهای وسیعی که در زمینه خود دستگاه و نیز تهیه نمونه حاصل شده است.
قدرت تفکیک:
کوتاهترین فاصله بین دو نقطه که بتوان آنها را در میکروسکوپ به صورت دو جزء جداگانه دید.
عمق میدان:
محدوده ای که شئ در آن قرار می گیرد و چشم تغییری در کیفیت تصویر آن تشخیص نمی دهد.
عمق فوکوس:
محدوده ای که در آن تصویر واضح تشکیل می شود، در حالی که جسم در جای مشخص و ثابتی نسبت به عدسی قرار دارد.
پاورپوینت کامل درباره میکروسکوب الکترونی عبوری TEM