سمینار درس سیستم های میکرو الکترو مکانیکی
RF MEMS SWITCH
30 صفحه در قالب word
فهرست
مقدمه ای بر تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS) 2
سوئیچ ها .3
پارامتر های سوئیچینگ .4
زمان عبور . 4
سرعت سوئیچینگ .5
اداره توان RF 5
Impedance matching ..5
Insertion loss ..5
Impedance matching. 5
Actuation voltage ..6
Life-cycle ..6
Resonant frequency 6
سوئیچ های مکانیکی ..6
سوئیچ های RF دیود PIN .6
سوئیچ های ترانزیستور های اثر میدان نیمرسانا اکسید فلزی .9
سوئیچ های RF MEMS 10
مقایسه بین سوئیچ های RF MEMS و سوئیچ های RF متداول ..13
سوئیچ های اتصال سری الکتروستاتیکی .14
سوئیچ های ظرفیتی موازی ..19
تحریک الکتروستاتیکی ..21
مراحل ساخت سوئیچ ..23
نتیجه گیری .25
منابع .27
مقدمه ای بر تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS)
MEMS یک تکنولوژی است،که قادر به ساخت دسته ای از ساختارها ،دیوایس ها وسیستم های مکانیکی کوچک شده است.این تکنولوژی دارای تعدادی مزیت ها نسبت به تکنولوژی IC ها دارد
1- کاهش هزینه در ساخت
2- ثبات دیوایس به دیوایس از تکنولوژی لیتوگرافی واچینگ
3- پیشرفت نقش کلی آن ها در مقیاس پایین که به کاهش وزن واندازه منجر می شود
سیلیسیوم یک ماده مناسب برای ساخت دیوایس های MEMS است.زیرا این ماده دارای خواص فیزیکی و مکانیکی خوب برای ماشین کاری دارد.همچنین Si ارزان قیمت و به وفور در معادن یافت می شود.در سال 1992 خواص مکانیکی MEMS توسطPetersen انجام شده است.مشخصات مفید این دیوایس ها باعث شده است،که MEMS یک تکنولوژی پیروز در تعدادی حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسور های فشار،میکرو اپتیک و غیره باشد.[1]
RF MEMS نسبتا جدید است،اما یک هیجان زیاد به خاطر افزایش نقش وکاهش هزینه ساخت ایجاد کرده است.تجارت مدرن وبه طور ویژه ارتباطات نظامی،کشتیرانی وخطوط اطلاعات برای این کاربرد ها طراحی شده اند.برای سیستم های ارتباطی ،در کاربرد های تجاری ونظامی ،یک حرکت پیوسته برای کوچک تر شدن وجود دارد.
تجهیزات ضد پارازیت یک درجه بالایی از چابکی فرکانس نیاز دارد،که تاثیر سیگنال های پارازیت ،روی ارتباطات را کمتر کنیم.برای انجام دادن این نیاز، به فیلترینگ باند باریک روی گیرنده یا فرستنده ویا هر دو نیاز داریم.فیلترهای فرکانس بالا برای تجهیزات ضد پارازیت ، تمایل به پهنای باند عریض تر دارد.[2]
بیشترین مطالعات درRF MEMS روی سوئیچ ها انجام شده است.اگر ما بخواهیم یک تعریف از عمل سوئیچینگ داشته باشیم،به صورت زیر خواهد بود.
سوئیچ ها
سوئیچ وسیله ای است،که عمل برقرای جریان یا عدم برقراری جریان در یک مدار را انجام می دهد.یک سوئیچ می تواند در مسیر سیگنال یک مقاومت یا یک خازن باشد،که به خاطر عمل مکانیکی اش، سوئیچ نیمه عمر محدود دارد. حال مثال هایی از سوئیچ هایی که مورد استفاده قرار می گیرند را درزیر بیان می کنیم.
سوئیچ ها می توانند،در یک مدار گیرنده- فرستنده استفاده شوند.همان طور ،که در شکل 1 مشاهده می کنیم،در مد فرستنده سوئیچ باید در موقیت 1 ودر مد گیرنده باید در موقیت 2 باشد[3].
در مدولاسیون دیجیتالی در سیستم های ارتباطی ،سوئیچ به عنوان یک گیت بکار می رود،که سیگنال را یا عبور می دهد ویا متوقف می کند،به طوری که بتوانیم شکل موج مورد نظرمان راپیدا کنیم،که در شکل 2 نشان داده شده است.[3]
ممکن است هنگام انتقال از فایل ورد به داخل سایت بعضی متون به هم بریزد یا بعضی نمادها و اشکال درج نشود ولی در فایل دانلودی همه چیز مرتب و کامل است
متن کامل را می توانید در ادامه دانلود نمائید
چون فقط تکه هایی از متن برای نمونه در این صفحه درج شده است ولی در فایل دانلودی متن کامل همراه با تمام ضمائم (پیوست ها) با فرمت ورد word که قابل ویرایش و کپی کردن می باشند موجود است
سمینار درس سیستم های میکرو الکترو مکانیکی - RF MEMS SWITCH